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主动隔振平台STACIS IIIc

名称: 主动隔振平台STACIS IIIc

型号: STACIS IIIc

品牌: TMC

  • 详细信息

概述

STACIS IIIc是STACIS III**主动隔振系统的紧凑型版本。它在减小的高度下提供了同样出色的隔振性能。

STACIS IIIc非常适合在没有或地板很低的活动地板上使用,因为标准STACIS III系统的高度会使仪器过高。

在三隔离器配置中,隔离器高度小于常规STACIS III高度的60%。在具有3个以上隔离器的系统中,高度将在60%到70%之间,具体取决于有效负载设置。有关详细信息,请参见下面的规格。

 

 

STACIS IIIc优势

与常规STACIS III系统相比,隔离器高度**多降低42%,而性能却没有降低。

STACIS比空气隔振器坚固数百倍,没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架,与主动空气系统不同,STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方,使两个系统都在**状态下运行。

独特的串行设计和专有的高力压电技术 

可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90%的**主动隔振性能。
 

性能


4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C 
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

 

性能规格

规格

主动自由度 6
主动带宽 0.6 Hz - 150 Hz
被动固有频率 18 Hz垂直和水平
有效的主动共振频率 0.5 Hz
1 Hz时的隔振 40% - 70%
≥2 Hz时的隔振 ≥90%
10磅(4.5千克)步进输入后的稳定时间
(减少10:1)
0.3秒
内部噪音 <0.1 nm RMSd>
每个隔振器的工作负载范围 低承重能力:400 - 1100磅(181 - 499千克)
中等承重能力:900 - 2100磅(408 - 953千克)
高承重能力:1900 - 4500磅(862 - 2041千克)
刚度(1000磅/454千克质量、中等承重能力隔振器) 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)
从距离隔振器**4英寸(102毫米)处发射的磁场 <0.02 μG broadband RMSd>

 

隔振器设计、尺寸、环境和效用要求

环境和安全 符合CE和RoHS标准
主动隔振元件 **小承重能力为3300磅(1500千克)的压电致动器接收来自高压放大器的信号,其输出高达800 VDC。垂直实行器支撑隔振的有效载荷
被动隔振元件 单个硬质各向同性弹性体(无需压缩空气源)
振动传感器元件 向下的地震检波器型惯性传感器,用于测量隔振器下方的地面振动,并提供与振动运动速度成正比的电压
主动反馈控制回路 在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动
隔振器尺寸(宽x深x高) 14.45 x 14.26 x 6.16* in.
367 x 362 x 157* mm
 
* Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height.
隔振器重量 53磅(24千克)
工作温度 50° - 90° F
10° - 32° C
储存温度 -40° - 130° F
-40° - 55° C
湿度 30 - 60%
系统电源要求 100、120、230、240 VAC
50/60 Hz AC; <600 W
符合CE标准
地面位移 <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
每个系统的隔振器数量 至少3个
可选附件 层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩


DC-2020控制器规格

尺寸(宽 x 深 x 高) 19 x 8.5 x 1.75英寸
483 x 216 x 45 mm
重量 6.3磅(2.9千克)
处理器 150/75 MHz双核
采样率 10 kHz
模拟输出 16个通道
模拟输入 16个通道
状态灯 单个LED
前面板端口 1个串行USB 2.0
1个串行Micro-USB
1个以太网RJ-45
2个BNC
后面板端口 1个串行USB 2.0
1个以太网RJ-45
1个RS-232 DB-9传统串行,用于传统的STACIS 2100隔振器
用户界面 前面板液晶显示屏
超级终端上的字符菜单
适用于微软 Windows的扩展GUI
嵌入式以太网GUI

STACIS用户及应用领域
1、微电子、半导体
? 晶片检测
? 显微光刻技术
? 掩膜校准
2、科学研究、纳米技术
? SEM、TEM
? STEM、SPM
3、激光台
? 生命科学、药物研发
4、工业应用
? 精密加工
 
为什么要选择主动系统?
? 从<1Hz开始强烈消除地面震动,气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振
? 提高质量、生产量
? 更加细小特色的成像能力
? 前沿研究
? 比气动平台更稳定
? 满足SEM标准地点安装参数的**解决方案
? 使得新实验室及研究设备的工程造价更低
 
主动系统为何选择STACIS
? 正中了科研者的的心声,提供了尽可能**的无震环境。
? 市场上**强劲的低频隔振系统。
? 目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求,其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。
? STACIS**发明于1990s,经TMC进一步发展,开发和安装了数以千计的主动隔振系统,这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。
 
STACIS相比气动隔离器刚性大几百
稳定时间作为对扰动的响应,由于独特的串联式设计,而大大缩短,理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。
 
如下优势在业内都是**的
? STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz
? 6个自由度的主动震动消除,在1Hz时隔振8-10dB 
? 从2-3Hz时,隔振可达90% (20dB) 
 
专业的环境调查
1、安装前后的环境调查,包括震动、磁场、声波
2、安装后可提供环境系统体系认证
? 完善的环境调查服务
? 开具专业环境报告
? 提供震动、磁场、声波检测及解决方案
? TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案 
? 40多年的行业经验,业内的**
 
应用照片

备案号:

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