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努美科技
010-62029100

DOE专用掩膜

名称: DOE专用掩膜

型号: DM-002

品牌: HOLO/OR

  • 详细信息

高功率掩膜(DOE专用掩膜)——用于精密控制大功率激光的孔径,它的结构是在玻璃基板上镀有一层很薄(~1μm)的图案反射涂层。

HOLO/OR已经开发了一系列投影掩模,以满足在UV-VIS光谱中具有很高功率的激光源使用此类掩模的需求。这些掩模具有两种不同的形式:电介质反射掩膜具有阻挡不需要的光的反射涂层,而透射成像掩模模则使用了衍射图案,该衍射图案将这种不需要的光以大角度散射。

 

典型参数

Outer Diameter: 5 - 100 mm
Aperture Shape Round, square, multi-aperture, other
Aperture Size 10 um - 60 mm
Wavelength spectrum 193 - 11000 nm, each element designed for single wavelength
Transfer Region Small; sharp edges
SNR ~500
Shape size >5 um

 

电介质反射掩膜

电介质反射掩膜是熔融石英衬底,其上涂有非常薄(~1um)的反射涂层。涂层部分反射入射光束,而未涂层部分透射光束。

 

典型应用

? 大功率系统的微图案投影

? Micro patterns projection for high power systems

? 紫外线光刻

? UV lithography

 

光学系统示意图:


图1.  典型设置

 

HOLO / OR可以设计和制造定制的电介质反射掩膜以满足客户的需求。

 


图2.用显微镜放大倍数对定制电介质反射掩膜的真实测量

 

电介质反射掩膜的特点

? 高损伤阈值

? High damage threshold

? 低吸取

? Low absorption

? 反射部分的高反射率(> 99%)

? High reflection (>99%) in reflective part

? 透明部分的透射率高(> 95%)

? High transmission (>95%) in transparent part

? 极薄的介电反射层(~1 um)

? Very thin dielectric reflective layer (~1 um)

 

透射成像掩模

透射式掩模的特点是透射全部入射光,没有任何阻挡,透射掩模使用衍射图案以大角度漫射不需要的波段。

 

工作原理:

中心有一个和反射式掩膜类似的透明区域,光线直接透过,周围区域具有衍射图案,使不需要的入射光以大角度出射。配合聚焦镜后焦平面放置的小孔,就可以阻挡大部分漫射光,从而达到阻挡多余激光的效果。

 

光学系统示意图

 

透射成像掩模特点

? 无反射光危险,不会损坏光学系统

? No danger of reflected light causing damage to optical system

? 约100%传输

? ~** transmission

? 激光损伤阈值高于反射罩

? Higher laser damage threshold than for reflective mask

? 价格合理,与其他衍射元件相似

? Affordable price, similar to that of other diffractive elements

 


透射掩模元件

 


测量强度

 

标准产品

Part Number Diameter
(mm)
Aperture Size
 (um)
Aperture shape Material
DM-002 11 65 Square Fused Silica
DM-003 11 165 Square Fused Silica
DM-004 25.4 1750 Square Fused Silica
DM-005 25.4 3500 Square Fused Silica
DM-006 25.4 7000 Square Fused Silica
DM-007 25.4 10838 Round Fused Silica
DM-008 20 8428 Round Fused Silica
DM-009 25.4 6200 Round Fused Silica
DM-010 25.4 5680 Round Fused Silica
DM-011 11 4817 Round Fused Silica
DM-012 11 3612 Round Fused Silica
DM-013 11 2408 Round Fused Silica
DM-014 11 4214.9 Round Fused Silica
DM-015 11 3000 Round Fused Silica
DM-016 11 5400 Round Fused Silica
DM-017 85 50075 Square Fused Silica
DM-019 25.4 300 Square Fused Silica

※For a quotation of an above Part Number, please specify the wavelength used.

备案号:

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